オゾントランスデューサー

│カイジョー

しかし,「オゾン」と「」により1995にフロン(cfc "113, 1, 1, 1 "トリクロロエタン)はとなり,フロン(hcfc-225)は2020にがまっている。

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ウェーハをでするおよび

に、オゾン6からのオゾンを、5をして、そののディフューザー4によりタンクにさせる。 レジストストリップをにい、その、オゾンをし、ウェーハを、ないの(10〜15gpm)イオンですすぐ。

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| オゾンのと

オゾンの のオゾンのほとんど(9)は10~50kmのにします。オゾンのは、オゾンゾンデによる(オゾン)をいてできます。 、つくば、と()におけるオゾンのをみると、とも ...

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JP4054374B2 - ウェーハをでする - Google …

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のオゾンによるはtocでした。のtocは1のオゾンをうとになり、3のオゾンではtocのは15%であった。また、このにのphはにくなり、でほぼになった。

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